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國際首次!應(yīng)用高溫超導(dǎo)技術(shù),我國團(tuán)隊成功實現(xiàn)

科技日報

2025-03-19 07:10:59

3月15日,由中國電工技術(shù)學(xué)會主持、寧夏超導(dǎo)泛科技有限責(zé)任公司(以下簡稱“寧夏超導(dǎo)泛科技”)牽頭組織的“高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備、技術(shù)及應(yīng)用科技成果鑒定會”在寧夏銀川市舉辦。

鑒定會上,由中國科學(xué)院院士甘子釗領(lǐng)銜的專家委員會對項目進(jìn)行了全面評估。專家一致認(rèn)為,該技術(shù)填補(bǔ)了我國在高端硅晶體制造領(lǐng)域的多項空白,綜合性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

據(jù)介紹,高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備、技術(shù)及應(yīng)用的關(guān)鍵,在于引入高溫超導(dǎo)磁體技術(shù)。科研團(tuán)隊針對高品質(zhì)大尺寸硅單晶生長技術(shù)瓶頸,研制出高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長裝備,形成大尺寸硅單晶長棒快速、高穩(wěn)定性、低含氧量的生長工藝,實現(xiàn)大尺寸(12英寸以上)高品質(zhì)硅單晶的生產(chǎn),經(jīng)濟(jì)和社會效益顯著。

科技日報記者 魏依晨 攝

根據(jù)項目報告顯示,寧夏超導(dǎo)泛科技自主研發(fā)的高溫超導(dǎo)磁控硅單晶生長設(shè)備及技術(shù),可將硅片含氧量穩(wěn)定控制在5ppma(質(zhì)量百萬分比)以下,硅棒頭尾利用率提升4%以上,生產(chǎn)效率提升12%,目前已拉出直徑達(dá)340毫米的高品質(zhì)硅棒。

甘子釗院士在評審中表示:“這是國際上首次將高溫超導(dǎo)技術(shù)應(yīng)用于磁控直拉單晶生長,為高溫超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化做了很多開創(chuàng)性的工作,開辟了超導(dǎo)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化新賽道?!彼貏e提到,該技術(shù)對實現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)具有戰(zhàn)略意義。

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